2011年2月,罕王微机电高科技产业园项目在沈抚新区正式开工建设,项目占地1000亩,为沈抚新区重点扶持的高科技产业园区。
2011年5月,罕王微电子(辽宁)有限公司成立。2019年2月,罕王微电子MEMS传感器芯片后端工艺生产线正式启动,成为国内首条纯MEMS规模化生产线,填补了国内产业空白。罕王微电子拥有以中国总部为中心,美国、意大利、奥地利为分部的全球化MEMS研发架构,以“IDM+定制化代工”为运营模式,提供全品类MEMS芯片的可量产化设计服务和定制化代工服务。该生产线可实现8英寸晶圆年产能18万片,MEMS芯片年产能15亿颗,达产后年预期年产值50亿元
罕王微机电高科技产业园区在罕王微电子MEMS项目一期达产的基础上,按照中短期规划建设MEMS二期项目,投产后新增18万片晶圆年产能;按照中长期规划新增一条年产能36万片的8英寸CMOS晶圆生产线。按照长期规划将实现除生产MEMS传感器外,开拓模拟和数字混合集成电路IC市场,实现12英寸晶圆年产能120万片。
罕王微机电高科技产业园首条8英寸MEMS生产线的建成,实现了罕王集团“引进来高科技”的战略发展布局,并实现由“传统产业”向“科技产业”迈进。产业园区将立足东北辐射全国,目标是建设成为全球知名、产值百亿的微机电高科技产业园区,并由此形成千亿元的综合产业规模。